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华海清科:装备核心零部件均实现自主研发人民财讯11月5日电,华海清科在2026年第三季度业绩说明会上表示,公司坚持以核心零部件自主研发为主,同步深化与国内精密制造、关键零部件企业协同培育的发展路径。目前公司零部件国产化率已达到较高水平,装备核心零部件均实现自主研发。后续公司将持续推进与国内零部件厂商的协同开发及联合验证,助力提升供应商技术能力,完善国内半导体装备产业链配套体系,为CMP、减薄、离子注入等多品类高端装备实现更大规模交付提供有力支撑。
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